Thermal stability of electrodeposited LIGA Ni-W alloys for high temperature MEMS applications
Haj-Taieb, M.; Haseeb, A. S. M. A.; Caulfield, J.; Bade, K.
; Aktaa, J.; Hemker, K. J.
; Aktaa, J.; Hemker, K. J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220068249 |
| HGF-Programm | 43.01.05 (POF I, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit |
| Erscheinungsvermerk | 7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007 |