Manufacturing process for high aspect ratio metallic micro parts made by electroplating on partial conductive templates

Prokop, J.; Finnah, G.; Lorenz, J.; Piotter, V.; Ruprecht, R.; Haußelt, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp	Poster
Publikationsjahr	2007
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 220068332
HGF-Programm	43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation
Erscheinungsvermerk	7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007