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Mass transport investigations for megasonic supported processes

Lisinenkova, M.; Bade, K.; Hahn, L.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220068422
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), Besancon, F, June 7-9, 2007
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