SU-8 als Material für die Fertigung hochpräziser LIGA-Röntgenlinsen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220068774 |
| HGF-Programm | 43.04.03 (POF I, LK 01) Röntgenoptik |
| Veranstaltung | 1. Workshop Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik (2007), Karlsruhe, Deutschland, 07.05.2007 – 08.05.2007 |
| Erscheinungsvermerk | Technologien und Werkstoffe in der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop, Karlsruhe, 7.-8.Mai 2007 |