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SU-8 als Material für die Fertigung hochpräziser LIGA-Röntgenlinsen

Last, A.; Reznikova, E.; Nazmov, V.; Simon, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2007
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 220068774
HGF-Programm 43.04.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Technologien und Werkstoffe in der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop, Karlsruhe, 7.-8.Mai 2007
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