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Nitrogen diffusion in amorphous silicon (carbo)nitride probed by neutron reflectometry

Hüger, E.; Gutberlet, T.; Stahn, J.; Bruns, M.; Schmidt, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Poster
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220071082
HGF-Programm 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing
Erscheinungsvermerk 72.Jahrestagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft und DPG Frühjahrstagung des Arbeitskreises Festkörperphysik, Fachverband Metall- und Materialphysik, Berlin, 25.-29.Februar 2008 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.43(2008) MM 23.3
Externe Relationen Abstract/Volltext
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