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Batch fabrication of polymer microsystems with shape memory microactuators

Grund, T.; Cuntz, T.; Kohl, M.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220071370
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erscheinungsvermerk Technical Digest MEMS 2008 : 21st IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems, Tucson, Ariz., January 13-17, 2008 Piscataway, N.J. : IEEE Operations Center, 2008 Auch als Online-Ausg. erschienen
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