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Sub-μm structured surfaces manufacturing using e-beam machining, X-ray lithography, electroforming and polymer replication for micro fluidics applications

Heckele, M.; Worgull, M.; Mappes, T.; Tosello, G.; Metz, T.; Gavillet, J.; Koltay, P.; Hansen, H.N.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220072216
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 10th Anniversary Internat.Conf.of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (Euspen), Zürich, CH, May 18-22, 2008
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