KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Sputter deposition of single layer Si-C-N films: molecular dynamics simulation and experimental validation of structure-property-correlations

Ziebert, C. ORCID iD icon; Ye, J.; Ulrich, S.; Prskalo, A.; Kohler, C.; Schmauder, S.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/220072654
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Poster
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220072654
HGF-Programm 43.03.06 (POF I, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing
Erscheinungsvermerk 19th European Conf.on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides (DIAMOND 2008), Sitges, E, September 7-11, 2008
Externe Relationen Abstract/Volltext
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page