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Modular active micro-optical systems based on LIGA technique

Schüle, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220074451
HGF-Programm 43.04.04 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1st Innovation Forum Microtechnology, Villingen-Schwenningen, 21.Januar 2009
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