Molecular dynamics simulations of the sputtering of SiC and Si₃N₄
Prskalo, A. P.; Schmauder, S.; Ziebert, C.
; Ye, J.; Ulrich, S.
; Ye, J.; Ulrich, S.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220075470 |
| HGF-Programm | 43.03.06 (POF II, LK 01) Konstitution, Synthese u.Processing |
| Erscheinungsvermerk | European Materials Research Society Spring Meeting, Strasbourg, F, June 8-12, 2009 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |