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Molecular dynamics simulations of the sputtering of SiC and Si₃N₄

Prskalo, A.P.; Schmauder, S.; Ziebert, C.; Ye, J.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Poster
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220075470
HGF-Programm 43.03.06 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk European Materials Research Society Spring Meeting, Strasbourg, F, June 8-12, 2009
Externe Relationen Volltext/Abstract
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