Electropolishing as a method to improve the functionality of tall RF MEMS
Kissling, S.; Bade, K.
; Börner, M.; Klymyshyn, D. M.
; Börner, M.; Klymyshyn, D. M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220076055 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | 8th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2009), Saskatoon, CDN, June 25-28, 2009 Book of Abstracts |