High aspect ratio PMMA posts and characterization method for micro coils manufactured with an automatic wire bonder

Kratt, K.; Badilita, V.; Burger, T.; Mohr, J.; Börner, M.; Korvink, J. G.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Poster
Publikationsjahr	2009
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 220076061
HGF-Programm	43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erscheinungsvermerk	8th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2009), Saskatoon, CDN, June 25-28, 2009 Book of Abstracts