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High aspect ratio PMMA posts and characterization method for micro coils manufactured with an automatic wire bonder

Kratt, K.; Badilita, V.; Burger, T.; Mohr, J.; Börner, M.; Korvink, J.G.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220076061
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2009), Saskatoon, CDN, June 25-28, 2009 Book of Abstracts
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