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Parameters influencing particle properties in a non-equilibrium microwave plasma process

Ochs, R.; Schlabach, S.; Szabo, D.V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Poster
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220076565
HGF-Programm 43.01.03 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk Feher, L. [Hrsg.] Proc.of the 12th Internat.Conf.on Microwave and High Frequency Heating (AMPERE 2009), Karlsruhe, September 7-10, 2009 CD-ROM - ?? Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2009
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