Parameters influencing particle properties in a non-equilibrium microwave plasma process
Ochs, R.; Schlabach, S.
; Szabo, D. V.
; Szabo, D. V.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220076565 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Feher, L. [Hrsg.] Proc.of the 12th Internat.Conf.on Microwave and High Frequency Heating (AMPERE 2009), Karlsruhe, September 7-10, 2009 CD-ROM - ?? Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2009 |