Control of surface chemistry and micro-topography of magnetron-sputtered hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) films by UV-laser treatment
Pfleging, W.
; Frankenhauser, A.; Kohler, R.; Torge, M.; Bruns, M.; Trouillet, V.; Danneil, F.; Stüber, M.; Ulrich, S.
; Frankenhauser, A.; Kohler, R.; Torge, M.; Bruns, M.; Trouillet, V.; Danneil, F.; Stüber, M.; Ulrich, S.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220077083 |
| HGF-Programm | 43.01.02 (POF II, LK 01) Strukturierung |
| Erscheinungsvermerk | European Materials Research Society Spring Meeting, Strasbourg, F, June 8-12, 2009 |