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Control of surface chemistry and micro-topography of magnetron-sputtered hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) films by UV-laser treatment

Pfleging, W.; Frankenhauser, A.; Kohler, R.; Torge, M.; Bruns, M.; Trouillet, V.; Danneil, F.; Stüber, M.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Poster
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220077083
HGF-Programm 43.01.02 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk European Materials Research Society Spring Meeting, Strasbourg, F, June 8-12, 2009
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