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Charakterisierung von definiert erzeugten Defekten in Silicium Wafern

Wittge, J.; Danilewsky, A.N.; Hess, A.; Cröll, A.; Allen, D.; McNally, P.J.; Vagovic, P.; Cecilia, A.; Li, Z.W.; Baumbach, T.; Gorostegui-Colinas, E.; Elizalde, M.R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Poster
Jahr 2009
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 220078221
HGF-Programm 55.51.20 (POF II, LK 02)
Erscheinungsvermerk Deutsche Kristallzüchtertagung, Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Kristallwachstum und Kristallzüchtung (DGKK), Dresden, 4.-6.März 2009
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