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Polymerization of SU-8 during X-ray exposure

Nazmov, V.; Berger, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220079996
HGF-Programm 43.14.02 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 18th Internat.Synchrotron Radiation Conf. (SR-2010), Novosibirsk, Russia, July 19-22, 2010 Book of Abstracts
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