Polymerization of SU-8 during X-ray exposure
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220079996 |
| HGF-Programm | 43.14.02 (POF II, LK 01) X-Ray-Optics |
| Erscheinungsvermerk | 18th Internat.Synchrotron Radiation Conf. (SR-2010), Novosibirsk, Russia, July 19-22, 2010 Book of Abstracts |