Development of Ni-Al superalloys for high temperature LIGA MEMS materials
Burns, D.; Teutsch, M.; Perez-Bergquist, S.; Bade, K.
; Aktaa, J.; Hemker, K.
; Aktaa, J.; Hemker, K.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220080297 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | Gordon Research Conf.'Thin Film and Small Scale Mechanical Behavior', Waterville, Maine, July 25-30, 2010 Materials Research Society Fall Meeting, Boston, Mass., November 29 - December 3, 2010 |