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Development of Ni-Al superalloys for high temperature LIGA MEMS materials

Burns, D.; Teutsch, M.; Perez-Bergquist, S.; Bade, K.; Aktaa, J.; Hemker, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220080297
HGF-Programm 43.13.01 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk Gordon Research Conf.'Thin Film and Small Scale Mechanical Behavior', Waterville, Maine, July 25-30, 2010 Materials Research Society Fall Meeting, Boston, Mass., November 29 - December 3, 2010
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