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A bistable shape memory microvalve

Barth, J.; Megnin, C.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 220083413
HGF-Programm 43.15.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 24th Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2011), Cancun, MEX, January 23-27, 2011 Piscataway, N.J. : IEEE, 2011 Also publ.online DOI:10.1109/MEMSYS.2011.5734613
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