| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220083706 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | Transducers'11 : 16th Internat.Conf.on Solid-Sate Sensors, Actuators and Microsystems, Beijing, China, June 5-9, 2011 |