| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220084317 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | 37th Internat.Conf.on Micro and Nano Engineering (MNE 2011), Berlin, September 19-23, 2011 |