Mikrothermoformen und Mikroblasformen nanostrukturierter Polymerfilme. Replikationsverfahren zur Mikro-Nano-Integration

Heilig, M.; Schneider, M.; Hamm, V.; Dinglreiter, H.; Worgull, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Poster
Publikationsjahr	2011
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 220084519
HGF-Programm	43.13.02 (POF II, LK 01) Replication
Erscheinungsvermerk	Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011