Herstellung großflächiger optischer Gitter mittels Röntgentiefenlithographie und anschließender Stapelung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Poster |
| Jahr | 2011 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220084661 |
| HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) |
| Erscheinungsvermerk | Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011 |