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A very large 2-D x-ray mosaic lens made using very deep 2-D x-ray lithography

Nazmov, V.; Mohr, J.; Simon, M.; Simon, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220085144
HGF-Programm 43.14.02 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 21st Internat.Congress on X-Ray Optics and Microanalysis (ICXOM21), Campinas, BR, September 5-8, 2011
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