Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Poster |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 220085296 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erscheinungsvermerk | Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011 |