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X-ray LIGA process control focused on dimensional stability: mold case study

Erb, A.; Heneka, J.; Meyer, P.; Börner, M.; Guttmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 220088659
HGF-Programm 47.16.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 4th ANKA/KNMF Joint User Meeting, Ettlingen, October 10-11, 2012
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