X-ray LIGA process control focused on dimensional stability: mold case study
Erb, A.; Heneka, J.; Meyer, P.
; Börner, M.; Guttmann, M.
; Börner, M.; Guttmann, M.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220088659 |
| HGF-Programm | 47.16.03 (POF II, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 4th ANKA/KNMF Joint User Meeting, Ettlingen, October 10-11, 2012 |