X-ray LIGA process control focused on dimensional stability: mold case study

Erb, A.; Heneka, J.; Meyer, P.; Börner, M.; Guttmann, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Poster
Publikationsjahr	2012
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 220088659
HGF-Programm	47.16.03 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk	4th ANKA/KNMF Joint User Meeting, Ettlingen, October 10-11, 2012