3-dimensional imaging of dislocation in silicon wafers by diffraction laminography

Hänschke, D.; Helfen, L.; Altapova, V.; Pelliccia, D.; Yang, Y.; Zimina, A.; Tkachuk, A.; Hornberger, B.; Palshin, V.; Feser, M.; Baumbach, T.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp	Poster
Publikationsjahr	2012
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 220090305
HGF-Programm	55.52.10 (POF II, LK 01) Micro and Nano Science and Technology
Erscheinungsvermerk	Poster: 11th Internat.Conf.on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2012), Lyon, July 9-13, 2012