KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

3-dimensional imaging of dislocation in silicon wafers by diffraction laminography

Hänschke, D.; Helfen, L.; Altapova, V.; Pelliccia, D.; Yang, Y.; Zimina, A.; Tkachuk, A.; Hornberger, B.; Palshin, V.; Feser, M.; Baumbach, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp Poster
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 220090305
HGF-Programm 55.52.10; LK 01
Erscheinungsvermerk Poster: 11th Internat.Conf.on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2012), Lyon, July 9-13, 2012
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page