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Characterization of the X-ray beam coherence for wavelengths below 1.5 Angström by means of LIGA patterns

Nazmov, V.; Mohr, J.; Simon, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA)
Publikationstyp Poster
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220091414
HGF-Programm 43.14.02 (POF II, LK 01)
Erscheinungsvermerk 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 Book of Abstracts
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