Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Poster |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 220091415 |
HGF-Programm | 43.14.02 (POF II, LK 01) X-Ray-Optics |
Erscheinungsvermerk | 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013 Book of Abstracts |