KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

A Monte Carlo study of the primary absorbed energy redistribution in X-ray lithography

Meyer, P.; Pantenburg, F.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220091416
HGF-Programm 43.13.01 (POF II, LK 01)
Veranstaltung 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, April 21-24, 2013. Book of Abstracts
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page