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LIGA2.X - a new process to fabricate single polymeric LIGA micro parts

Heneka, J.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/220093957
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220093957
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct.
Erscheinungsvermerk IMTEK Research Day, Freiburg, 9.Dezember 2013
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