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LIGA2.X - a new process to fabricate single polymeric LIGA micro parts

Heneka, J.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 220093957
HGF-Programm 43.16.01; LK 02
Erscheinungsvermerk IMTEK Research Day, Freiburg, 9.Dezember 2013
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