LIGA2.X - a new process to fabricate single polymeric LIGA micro parts
Heneka, J.; Guttmann, M.
; Hanemann, T.; Plewa, K.
; Hanemann, T.; Plewa, K.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220093957 |
| HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct. |
| Erscheinungsvermerk | IMTEK Research Day, Freiburg, 9.Dezember 2013 |