Towards 3D nano-injection moulding: Residual layer-free reverse nanoimprint lithography on silicon and metal-coated substrates

Medina, J.; Fernandez, A.; Benkel, C.; Guttmann, M.; Bilenberg, B.; Nielsen, T.; Torres, C. M. S.; Kehagias, N.

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seit 11.05.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Poster
Publikationsjahr	2014
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 220096235
HGF-Programm	43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring
Erscheinungsvermerk	58th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN), Washington, D.C., May 27-30, 2014