Towards 3D nano-injection moulding: Residual layer-free reverse nanoimprint lithography on silicon and metal-coated substrates
Medina, J.; Fernandez, A.; Benkel, C.; Guttmann, M.
; Bilenberg, B.; Nielsen, T.; Torres, C. M. S.; Kehagias, N.
; Bilenberg, B.; Nielsen, T.; Torres, C. M. S.; Kehagias, N.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220096235 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | 58th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN), Washington, D.C., May 27-30, 2014 |