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Towards 3D nano-injection moulding: Residual layer-free reverse nanoimprint lithography on silicon and metal-coated substrates

Medina, J.; Fernandez, A.; Benkel, C.; Guttmann, M.; Bilenberg, B.; Nielsen, T.; Torres, C.M.S.; Kehagias, N.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 220096235
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 58th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN), Washington, D.C., May 27-30, 2014
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