Ferroelectric thin film fabrication by direct UV-lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220096983 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erscheinungsvermerk | 40th Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2014), Lausanne, CH, September 22-26, 2014 |