Additive nano manufacturing utilized by reverse nanoimprint lithography processes
Fernandenz, A.; Medina, J.; Benkel, C.; Guttmann, M.
; Bilenberg, B.; Thamdrup, L. H.; Nielsen, T.; Torres, C. S.; Kehagias, N.
; Bilenberg, B.; Thamdrup, L. H.; Nielsen, T.; Torres, C. S.; Kehagias, N.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220098197 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erscheinungsvermerk | 13th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2014), Kyoto, J, October 22-24, 2014 |