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Step-and-repeat thermal nanoimprint lithography as tool for upscaling of nanostructured surfaces

Guttmann, M.; Benkel, C.; Francone, A.; Kehaglas, N.; Anden, T.; Johannsson, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 220101390
HGF-Programm 43.22.02 (POF III, LK 01)
Erscheinungsvermerk EuroNanoForum 2015, Riga, LV, June 10-12, 2015
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