Step-and-repeat thermal nanoimprint lithography as tool for upscaling of nanostructured surfaces
Guttmann, M.
; Benkel, C.; Francone, A.; Kehaglas, N.; Anden, T.; Johannsson, A.
; Benkel, C.; Francone, A.; Kehaglas, N.; Anden, T.; Johannsson, A.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220101390 |
| HGF-Programm | 43.22.02 (POF III, LK 01) Nanocatalysis |
| Erscheinungsvermerk | EuroNanoForum 2015, Riga, LV, June 10-12, 2015 |