A latchable thermally activated phase change actuator and optimization of its response behaviour
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220101398 |
| HGF-Programm | 47.02.07 (POF III, LK 01) Zellpopul.auf Biofunk.Oberflächen IMT |
| Erscheinungsvermerk | 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015), Anchorage, Alaska, June 21-25, 2015 |