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A latchable thermally activated phase change actuator and optimization of its response behaviour

Richter, C.; Wilhelm, E.; Voigt, A.; Rapp, B.E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 220101398
HGF-Programm 47.02.07; LK 01
Erscheinungsvermerk 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015), Anchorage, Alaska, June 21-25, 2015
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