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Röntgenoptische Messung des Seitenwandwinkels direktlithografischer refraktiver Röntgenlinsen

Last, A.; Markus, O.; Georgi, S.; Mohr, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Poster
Publikationsjahr 2015
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 220103075
HGF-Programm 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics
Veranstaltung MikroSystemTechnik Kongress (2015), Karlsruhe, Deutschland, 26.10.2015 – 28.10.2015
Erscheinungsvermerk MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015
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