Röntgenoptische Messung des Seitenwandwinkels direktlithografischer refraktiver Röntgenlinsen
Last, A.
; Markus, O.; Georgi, S.; Mohr, J.
; Markus, O.; Georgi, S.; Mohr, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 220103075 |
| HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics |
| Veranstaltung | 6. Mikrosystemtechnik Kongress (2015), Karlsruhe, Deutschland, 26.10.2015 – 28.10.2015 |
| Erscheinungsvermerk | MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 |