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Auswirkungen von Reflexen an Seitenwänden von Goldabsorbern in der Röntgentiefenlithographie

Last, A.; Börner, M.; Marschall, F.; Meyer, P.; Simon, M.; Markus, O.; Georgi, S.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Poster
Jahr 2015
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 220103077
HGF-Programm 43.23.02; LK 01
Erscheinungsvermerk MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015
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