Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 221194 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Erscheinungsvermerk | Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 18.11.1994. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 18.11.1994 |