| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 22122000 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. MICRO.tec 2000, VDE World Microtechnologies Congress, Hannover, Germany 2000. Vol. 2. Berlin 2000. S. 449-452. |