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Chemistry and kinetics of chemical vapor deposition of pyrocarbon - VI. Influence of temperature using methane as a carbon source

Brueggert, Michael; Hu, Zjiun; Huettinger, Klaus J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 22352000
Erscheinungsvermerk Carbon 37 (1999) S. 2021-2030.
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