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Chemistry and kinetics of chemical vapor deposition of carbon from methane

Becker, Armin; Hu, Zjiun; Huettinger, Klaus J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 22412000
Erscheinungsvermerk J. de phys. IV 9 (1999) H. 8 S. 41.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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