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The role of the substrate surface area / reactor volume ratio in chemistry and kinetics of chemical vapor deposition

Teubner, Michael; Antes, Jürgen; Hu, Zjiun; Zhang, Wei-Gang; Huettinger, Klaus J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 22432000
Erscheinungsvermerk J. de phys. IV 9 (1999) H. 8 S. 79.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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