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Untersuchungen an gepulsten Quecksilber- Kurzbogenlampen fuer UV-lithografische Anwendungen

Spanke, Rene



Zugehörige Institution(en) am KIT Lichttechnisches Institut (LTI)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 22493
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Fak. f. Elektrotechnik, Diss. v. 15.6.1993.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Elektrotechnik (Fak. für Elektrotech.)
Institut Lichttechnisches Institut (LTI)
Prüfungsdaten Diss. v. 15.6.1993
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