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Monitoring chemical vapour deposition of pyrocarbon by electron spin resonance

Buschhaus, Carsten; Dormann, Elmar; Huettinger, Klaus J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Physikalisches Institut (PHI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 22542000
Erscheinungsvermerk Synthet. met. 114 (2000) S. 325-329.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 2001S64
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