Koplanare Leitungen aus Niob mit 50 nm Innenleiterbreite auf einem Si-Substrat
Jutzi, Wilhelm; Wuensch, Stefan
; Crocoll, Erich; Neuhaus, Manfred; Scherer, Theo A.; Weimann, T.; Niemeyer, Jürgen
; Crocoll, Erich; Neuhaus, Manfred; Scherer, Theo A.; Weimann, T.; Niemeyer, Jürgen| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 22832002 |
| Erschienen in | Kryoelektronische Bauelemente, KRYO 2002, 02.10.2002 |
| Veranstaltung | Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2002), Berlin, Deutschland, 20.10.2002 |
| Seiten | 76 |
| Erscheinungsvermerk | In: Kryoelektronische Bauelemente, KRYO 2002, Berlin-Wandlitz 2002. S. 76. |