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Koplanare Leitungen aus Niob mit 50 nm Innenleiterbreite auf einem Si-Substrat

Jutzi, Wilhelm; Wuensch, Stefan; Crocoll, Erich; Neuhaus, Manfred; Scherer, Theo A.; Weimann, T.; Niemeyer, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 22832002
Erschienen in Kryoelektronische Bauelemente, KRYO 2002, 02.10.2002
Veranstaltung Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 2002), Berlin, Deutschland, 20.10.2002
Seiten 76
Erscheinungsvermerk In: Kryoelektronische Bauelemente, KRYO 2002, Berlin-Wandlitz 2002. S. 76.
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