Electrical Properties of Alkali Implants in Silicon

Bilger, H. R.; Nicolet, M. A.; Meyer, O.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1970
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230003900
Erscheinungsvermerk	European Conference on Ion Implantation, Reading, UK, September 7-9, 1970