KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Electrical Properties of Alkali Implants in Silicon

Bilger, H.R.; Nicolet, M.A.; Meyer, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1970
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230003900
Erscheinungsvermerk European Conference on Ion Implantation, Reading, UK, September 7-9, 1970
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page