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Lattice Location and Outdiffusion of Group I(A), II(B) and VI(B) Elements Implanted in Silicon

Meyer, O.; Mayer, J.W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1970
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230003901
Erscheinungsvermerk Fruehjahrstagung der Dt.Physikal.Ges.in Freudenstadt, 6.-11.April 1970. Verhandlungen der Dt.Physikal.Ges., R.6, Bd 5(1970)
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