Chemical Aspects of Ion Implantation

Wolf, G. K.; Froeschen, W.; Sahm, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Heiße Chemie (IHCH)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1974
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230008117
Erscheinungsvermerk	4.Internat.Conference on Ion Implantation into Semiconductors and other Materials, Osaka, August 26-30, 1974