Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Kernphysik (IAK) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1976 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230009643 |
Erscheinungsvermerk | 5. Internat. Conference on Ion Implantation in Semiconductors and other Materials, Boulder,Col., August 9-13, 1976 |