| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Kernphysik (IAK) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1976 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230009643 |
| Erscheinungsvermerk | 5. Internat. Conference on Ion Implantation in Semiconductors and other Materials, Boulder,Col., August 9-13, 1976 |