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Amorphization of evaporated Mo thin films by the implantation of nitrogen and phosphorous ions

Linker, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1981
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230016183
Erscheinungsvermerk Material Modification by Directed Energy Processing. NATO Institute on Surface Modification and Alloying, Trevi, I, August 24-28, 1981
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