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Amorphization of evaporated Mo thin films by the implantation of nitrogen and phosphorous ions

Linker, G.



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seit 31.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Kernphysik (IAK)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1981
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230016183
Erscheinungsvermerk Material Modification by Directed Energy Processing. NATO Institute on Surface Modification and Alloying, Trevi, I, August 24-28, 1981
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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