Amorphization of evaporated Mo thin films by the implantation of nitrogen and phosphorous ions
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Kernphysik (IAK) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1981 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230016183 |
| Erscheinungsvermerk | Material Modification by Directed Energy Processing. NATO Institute on Surface Modification and Alloying, Trevi, I, August 24-28, 1981 |